VS-6556最大運(yùn)動(dòng)半徑為650mm,最大可搬質(zhì)量5Kg,標(biāo)準(zhǔn)往復(fù)時(shí)間0.4秒(負(fù)載1Kg時(shí)),重復(fù)定位精度±0.02mm,VS-6577最大運(yùn)動(dòng)半徑為850mm,最大可搬質(zhì)量5Kg,標(biāo)準(zhǔn)往復(fù)時(shí)間0.5秒(負(fù)載1Kg時(shí)),重復(fù)定位精度±0.03mm。全系列均配有無(wú)塵室專用及防塵防水式樣。